美光首款基于EUV光刻技术的1γ DRAM出货

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当地时间2025年2月25日， 美光科技（Micron Technology）宣布，它已经成为业内第一家向生态系统合作伙伴和精选客户运送其利用极紫外光（EUV）光刻技术的1γ （1-gamma）制程的第六代 （10nm 级） DRAM 节点的 DDR5 内存样品的公司，该内存专为下一代 CPU 而设计。美光表示，这一 1γ DRAM 里程碑建立在美光之前的 1α （1-alpha） 和 1β （1-beta） DRAM 节点领导地位之上，旨在提供创新，为未来的计算平台提供动力，从云到工业和消费类应用，再到 AI PC、智能手机和汽车等边缘 AI 设备。美光1γ DRAM是该公司首次采用EUV光刻的制程，其他领先的DRAM制造商数年前就已导入EUV。虽然美光较晚采用，但1γ制程相较于现有产品线具备显著优势。虽然美光并未透露其1γ制程使用多少层EUV光刻，但推测主要是在关键层导入EUV光刻技术，这些层若使用传统的多重曝光（multi