来源：源码资本 近日，码荟成员苏州矽行半导体技术有限公司（下文简称“矽行半导体”）宣布，其自主研发的明场纳米图形晶圆缺陷检测设备TB1500已收到客户正式订单，即将交付客户工厂使用。 作为半导体制造前道工艺的核心检测装备，明场晶圆缺...