...T之家 12 月 27 日消息，DNP 大日本印刷当地时间本月 12 日宣布，成功在其光掩模制品上绘制了支持 2nm 及以下 EUV 工艺的精细光掩模图案；同时该企业还完成了支持 High NA EUV 光刻的光掩模的初步评估并已向生态合作...